ASML High NA EUV加速邁向高量產 已有10台投入運作
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微影設備龍頭艾司摩爾(ASML)今(1)日於SEMICON Taiwan 2026先進製程科技論壇公布High NA EUV最新進展,全球EXE系統累計曝光晶圓數已突破1...…ASML High NA EUV加速邁向高量產 已有10台投入運作
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